서비스
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신뢰성 시험
- 반도체 소자 및 모듈이 실제 사용환경에서 오랜기간 정상적으로 동작할 수 있는지 사전 검증하는 시험
시험항목
수명시험
- 시험목적
반도체 제품의 초기불량율과 제품의 수명을 평가
- 시험항목
HTOL, ELFR
환경시험
- 시험목적
운송, SMT 등 제품의 온도, 습도 등의 사용환경을 가정하여 제품 평가
- 시험항목
THB, HTST, HAST, U-HAST, CDM, Latch-up, TC
전력반도체시험
- 시험목적
전력반도체의 온도, 습도, Bias을 인가하여 성능 검증 평가
- 시험항목
HTRB, HTGB, H3TRB, DRB, DGS
시험 소개 및 규격 시험 규정
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IOL (Intermittent Operation Life)
전원 인가·차단을 반복해 접합온도 변화(ΔTJ)를 유도하고, 반복적인 열 스트레스로 소자의 장기 신뢰성과 내구성을 평가하는 시험입니다.
- External Size
(W)2,600mm X (D)1,000mm X (H)1,985mm
- Density
240 test density per 3 test system
- Test Zone
6 test zone per 3 test system
- Test Slot
20 test density per 1 test slot
- Support Products
Power Device - TO / SMT
- Power Supply
(Gate) 30V / 20A, (Voltage) 100V / 150A
- Temperature Range
25℃~200℃
- Temperature Accuracy
3℃ or less
- Falling / Rising Time
60 sec. / 60 sec. *junction temp.
- Monitoring Parameter
TC, I-Load, U-Load, Ureverse, Rthjc, Tj, VDS(RDSON), Current, Temperature, Gate Bias
시험 spec
- TA=25°C 진행
부품에 전원을 공급하여 ΔTJ 100°C를 보장하고 (절대 최대 정격을 초과하지 않도록 함).
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HSB System (High Speed Burn-in test System)
고속 HTOL 시험 장비로, 기존 가속수명시험 장비의 한계(최대 10 MHz)를 넘어 실제 동작 환경에 근접한 최대 3 GHz급 고속 동작 수명시험입니다.
- External Size
(W)1,600mm X (D)1,400mm X (H)2,373mm
- Temperature
1 temperature control / sensing
25℃ ~ 150℃ temp. range < range>
- Power System
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0V ~ 30V/20A power range * 7unit
0V ~ 30V/20A power range * 1unit
200ms power response time
- Vector Data Speed Rate
2Gbps~
- Signal Information(Input Level)
(VIH) 0.8V, (VIL) 0.2V
- Maximum Number of Input
Max 24 differential signal per 1 target package
- Monitoring Function
Voltage, Current, Temperature
High Temperature Operating Life test duration / temperature
| JEDEC (Industrial) | AEC-Q100 (Automotive) |
|---|---|
| 1000hrs, 125°C ≤ Tj, Vcc Max | Grade 0 : +150 °C for 1000 hours |
| Grade 1 : +125 °C for 1000 hours | |
| Grade 2 : +105 °C for 1000 hours | |
| Grade 3 : +85 °C for 1000 hours |
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HTOL (High Temperature Operating Life)
고온·고전압 조건에서 소자를 실제 동작시켜 잠재 결함을 조기 검출하고 수명을 예측하는 가속수명시험입니다.
- 가동 온도 범위
200℃
- 전압
Max : 20V
High Temperature Operating Life test duration / temperature
| JEDEC (Industrial) | AEC-Q100 (Automotive) |
|---|---|
| 1000hrs, 125°C ≤ Tj, Vcc Max | Grade 0 : +150 °C for 1000 hours |
| Grade 1 : +125 °C for 1000 hours | |
| Grade 2 : +105 °C for 1000 hours | |
| Grade 3 : +85 °C for 1000 hours |
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ELFR (Early Life Failure Rate)
가속 스트레스 조건으로 초기 불량을 유발하여 잠재적인 설계 및 공정 결함을 제거하는 시험입니다.
- 가동 온도 범위
200℃
- 전압
Max : 20V
Early Failure Rate Duration / Temperature
| JEDEC (Industrial) | AEC-Q100 (Automotive) |
|---|---|
| 48 Hrs ≤ t ≤ 168hrs, 125°C ≤ Tj, Vcc Max | Grade 0: 48 hours at 150°C or 24 hours at 175°C, Vcc Max |
| Grade 1: 48 hours at 125°C or 24 hours at 150°C, Vcc Max | |
| Grade 2: 48 hours at 105°C or 24 hours at 125°C, Vcc Max | |
| Grade 3: 48 hours at 85°C or 24 hours at 105°C, Vcc Max | |
| Grade 4: 48 hours at 70°C or 24 hours at 90°C, Vcc Max |
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Precondition
패키지 제조 완료 후 기판 실장 전까지의 보관·취급 환경과 솔더링 스트레스를 모사하는 시험입니다.
- bake 장비 가동 온도 범위
200℃
- 항온 항습기 온도 범위
-40~150℃
- 항온 항습기 습도 범위
30%~98%
- Reflow
9zone 개별 온도 control
상세스펙
| LEVEL | FLOOR LIFE4 | SOAK REQUIREMENTS3 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| STANDARD | ACCELERATED EQUIVALENT1 | ||||||
| eV 0.40-0.48 | eV 0.30-0.39 | CONDITION | |||||
| TIME | CONDITION | TIME(hrs) | CONDITION | TIME(hrs) | TIME(hrs) | ||
| 1 | Unlimited | ≤30 °C/85% RH | 168 +5/-0 | 85 °C/85% RH | NA | NA | NA |
| 2 | 2 year | ≤30 °C/60% RH | 168 +5/-0 | 85 °C/60% RH | NA | NA | NA |
| 2a | 4 weeks | ≤30 °C/60% RH | 6962 +5/-0 | 30 °C/60% RH | 120 +1/-0 | 168 +1/-0 | 60 °C/60% RH |
| 3 | 168 hours | ≤30 °C/60% RH | 1922 +5/-0 | 30 °C/60% RH | 40 +1/-0 | 52 +1/-0 | 60 °C/60% RH |
| 4 | 72 hours | ≤30 °C/60% RH | 962 +5/-0 | 30 °C/60% RH | 20 +0.5/-0 | 24 +0.5/-0 | 60 °C/60% RH |
| 5 | 48 hours | ≤30 °C/60% RH | 722 +5/-0 | 30 °C/60% RH | 15 +0.5/-0 | 20 +0.5/-0 | 60 °C/60% RH |
| 5a | 24 hours | ≤30 °C/60% RH | 482 +5/-0 | 30 °C/60% RH | 10 +0.5/-0 | 13 +0.5/-0 | 60 °C/60% RH |
| 6 | Time Label | ≤30 °C/60% RH | TOL | 30 °C/60% RH | NA | NA | NA |
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THB (Temperature Humidity Storage bias)
- 항온 항습기 온도 범위
-40~150℃
- 항온 항습기 습도 범위
30%~98%
상세스펙
| Spec | Test condition | |||
|---|---|---|---|---|
| Temperature(°C) | Humidity (%) | Bias (V) | Duration (Hrs) | |
| JESD22-A101 | 85°C / ±2 | 85% / ±2 | VCC Max | 1000 |
| 조건 | Reference | 시험 요구/주의사항 |
|---|---|---|
| AEC-Q100 | JEDEC JESD22-A101 or A110 | >85°C/85%RH for 1000 hours or HAST (130°C/85%RH for 96 hours, or 110°C/85%RH for 264 hours). |
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HTST (High Temperature Storage)
- bake 장비 가동 온도 범위
200℃
상세스펙
| Spec | Test condition | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| A | B | C | D | E | F | |
| JESD22-A103 | 125(-0/+10)°C | 150(-0/+10)°C | 175(-0/+10)°C | 200(-0/+10)°C | 250(-0/+10)°C | 300(-0/+10)°C |
| MIL-STD-883E Method 1008 |
75(-0/+10)°C | 125(-0/+10)°C | 150(-0/+10)°C | 200(-0/+10)°C | 250(-0/+10)°C | 300(-0/+10)°C |
| Test Time | 1000 (-0, /+72) hrs | |||||
| 조건 | Reference | 시험 요구/주의사항 |
|---|---|---|
| AEC-Q100 | JEDEC JESD22-A103 | >Plastic Packaged Parts |
| >Grade 0 : +175°C Ta for 1000 hours or +150°C Ta for 2000 hours. | ||
| >Grade 1 : +150°C Ta for 1000 hours or +175°C Ta for 500 hours. | ||
| >Grades 2 and 3 : +125°C Ta for 1000 hours or +150°C Ta for 500 hours. | ||
| >Ceramic Parts : +250°C Ta for 10 hours or +200°C Ta for 72 hours. |
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HAST (Highly Accelerated Temperature & Humidity Stress Test)
- 가동 온도 범위
+105.0 ~ +140℃
- 가동 습도 범위
75%~100%
상세스펙
| Spec | Test condition | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| Temperature (°C) | Humidity (%) | Vapor Pressure (psia/kpa) | Bias (V) | Duration (Hrs) | |
| JESD22-A110 | 130°C / ±2 | 85% / ±2 | 33.3 / 230 | VCC Max | 96 (-0/+2) |
| 110°C / ±2 | 85% / ±5 | 17.7 / 122 | VCC Max | 264 (-0/+2) | |
| 조건 | Reference | 시험 요구/주의사항 |
|---|---|---|
| AEC-Q100 | JEDEC JESD22-A101 or A110 | 85°C/85%RH for 1000 hours or HAST (130°C/85%RH for 96 hours, or 110°C/85%RH for 264 hours). |
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U-HAST (unbias-HAST)
- 가동 온도 범위
+105.0 ~ +140℃
- 가동 습도 범위
75%~100%
상세스펙
| Spec | Test condition | |||
|---|---|---|---|---|
| Temperature (°C) | Humidity (%) | Vapor Pressure (psia/kpa) | Duration (Hrs) | |
| JESD22-A118 | 130°C / ±2 | 85% / ±2 | 33.3 / 230 | 96 (-0/+2) |
| 110°C / ±2 | 85% / ±5 | 17.7 / 122 | 264 (-0/+2) | |
| 조건 | Reference | 시험 요구/주의사항 |
|---|---|---|
| AEC-Q100 | JEDEC JESD22-A102, A118, or A101 | 121°C/15psig for 96 hours |
| or unbiased HAST (130°C/85%RH for 96 hours, or 110°C/85%RH for 264 hours). | ||
| 고온 고압에 민감한 패키지의 경우, TH (85°C/85%RH)로 1000 hours 대체 가능 |
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Autoclave
- 가동 온도 범위
+105.0 ~ +140℃
- 가동 습도 범위
75%~100%
상세스펙
| Spec | Step | Test condition | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| A | B | C | D | E | F | ||
| JESD22-A102 | Temperature (Dry Bulb °C) | 121°C ±2 | |||||
| Relative Humidity (%) | 100% | ||||||
| Vapor Pressure (psig) | 2 ATM (30 ±1) | ||||||
| Test Time | 24 hrs (-0/+2) | 48 hrs (-0/+2) | 96 hrs (-0/+2) | 168 hrs (-0/+2) | 240 hrs (-0/+2) | 336 hrs (-0/+2) | |
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TC (Temperature Cycle)
- 가동 온도 범위
-65~200℃
상세스펙
| Spec | Step | Test condition | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| A | B | C | D | E | F | G | H | K | ||
| MIL-STD-883 | Cold | -55°C (-10/+0) | -55°C (-10/+0) | -65°C (-10/+0) | -65°C (-10/+0) | -65°C (-10/+0) | -65°C (-10/+0) | |||
| Hot | 85°C (+10/-0) | 125°C (+10/-0) | 150°C (+10/-0) | 200°C (+10/-0) | 300°C (+10/-0) | 175°C (+10/-0) | ||||
| JESD22-A104 | Cold | -55°C (-10/+0) | -55°C (-10/+0) | -65°C (-10/+0) | -40°C (-10/+0) | -55°C (-10/+0) | -0°C (-10/+0) | |||
| Hot | 85°C (+10/-0) | 125°C (+10/-0) | 150°C (+10/-0) | 125°C (+10/-0) | 150°C (+10/-0) | 125°C (+10/-0) | ||||
| 조건 | Reference | 시험 요구/주의사항 |
|---|---|---|
| AEC-Q100 | JEDEC JESD22-A104 and Appendix 3 | TC 후 WBP 진행 (TC 완료 후 한 lot에서 5개의 샘플을 사용하여 WBP 수행: 모서리당 2개, 측면당 1개 중간 본드) |
| Grade 0: -55°C to +150°C for 2000 cycles or equivalent | ||
| Grade 1: -55°C to +150°C for 1000 cycles or equivalent. (Note: -65°C to +150°C for 500 cycles is also an allowed test condition due to legacy use with no known lifetime issues.) |
||
| Grade 2: -55°C to +125°C for 1000 cycles or equivalent | ||
| Grade 3: -55°C to +125°C for 500 cycles or equivalent |
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HBM (Human Body Model) / Latch-up
- Pin Counts
512ea
- HBM Range
30 V to 2 kV
상세스펙
| Stress | Ref. | Abbr. | Conditions |
|---|---|---|---|
| Human Body Model ESD | JS-001 | ESD-HBM | TA = 25°C |
| Charged Device Model ESD | JESD22-C101 | ESD-CDM | TA = 25°C |
| Machine Model | JESD22-A115 | ESD-MM | TA = 25°C |
| 시험 명 | Reference | 시험 요구/주의사항 |
|---|---|---|
| ESD - Human Body Model | AEC Q100-002 | HBM 자격 테스트는 다음 수준에서 수행 / 건너뛰는 전압 수준은 허용되지 않음 500V, 1000V 및 2000V. 500V에서 장해가 관찰되면 250V에서 HBM 테스트 수행. 250V에서 장해가 관찰되면 125V에서 HBM 테스트 수행. 장치가 250V에서 고장나고 125V에서 파형 요구 사항을 충족하는 테스트를 사용할 수 없는 경우 해당 부품은 클래스 0A (즉, < 125V>AEC Q100-002 Table 3: Integrated Circuit HBM ESD Classification Levels 참고 |
| Items | Consumer / Industrial | Automotive |
|---|---|---|
| Latch-up | JESD78E | AEC-Q100-004 |
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CDM (Charged Device Model)
- 충전 Voltage Range
±25 ∼ ±2000V (±1V 단위)
- 모션시스템
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X, Y축: 최소 스텝 25.4µm, 6µm 정확도(X, Y축 - 최소 스텝 크기 25.4µm, 6µm의 정확도)
Z축: 38.1mm 이동, 6µm 정확도(Z축 - 38.1mm까지 수직 이동, 6µm의 정확도)
상세스펙
| Stress | Ref. | Abbr. | Conditions |
|---|---|---|---|
| Charged Device Model ESD | JESD22-C101 | ESD-CDM | TA = 25°C |
| 시험 명 | Reference | 시험 요구/주의사항 |
|---|---|---|
| ESD - Charged Device Model | AEC Q100-011 | AEC Q100-011 Table 1: Integrated Circuit CDM ESD Classification Levels 참고 |
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HTRB (High Temperature Reverse Bias)
- 가동 온도 범위
200℃
- 시험 조건온도
125 °C ~ 175 °C
- 인가 전압
정격 전압의 80% ~ 100% 수준
- 시험 시간
1000 시간 (표준 기준), 필요 시 500 ~ 2000 시간
- 표준 규격
JESD22-A108(JEDEC), MIL-STD-750 Method 1038 (미국 국방 규격), AQG 324 Release no.: 04.1/2025 Annex SiC QL-05, AQG 324 Release no.: 04.1/2025 QL-05
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HTGB (High Temperature Gate Bias)
- 가동 온도 범위
200℃
- 시험 조건온도
125 °C ~ 175 °C
- 인가 전압
정격 전압의 80% ~ 100% 수준
- 시험 시간
1000 시간 (표준 기준), 필요 시 500 ~ 2000 시간
- 표준 규격
JESD22-A108(JEDEC), MIL-STD-750 Method 1038 (미국 국방 규격), AQG 324 Release no.: 04.1/2025 Annex SiC QL-06, AQG 324 Release no.: 04.1/2025 QL-06
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H3TRB (High-humidity, high-temp reverse bias)
- 항온 항습기 온도 범위
-40~150℃
- 항온 항습기 습도 범위
30%~98%
- 시험 조건온도
85 °C
- 상대습도
85% RH
- 인가 전압
정격 전압의 80 % 수준 (또는 소자 사양 기준)
- 시험 시간
1000 시간 (일반 기준), 필요 시 500 ~ 2000 시간 조정 가능
- 표준 규격
AQG 324 Release no.: 04.1/2025 QL-07, JEDEC JESD22-A-101
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DRB (Dynamic Reverse Bias)
Table 9.15: Test parameters QL-10 Dynamic reverse bias (DRB)
| Parameter | Value |
|---|---|
| Test duration | ≥ 10¹¹ cyclesᶜ |
| Test temperature Tvj * | ≥ 25°C |
| Drain-source over voltage * | 0.8 VDS, Maxᵃ ≤ V_Dₛ ≤ 0.95 VDS, Maxᵃ |
| Drain-source test voltage VDS,DC | < 0>DS, Maxᵃ |
| dVDS/dt turn on * | ≤ -50 V/ns (definition see figure 9.4) (see note) |
| dVDS/dt turn off * | ≥ 50 V/ns ᵃ (definition see figure 9.4) (see note) |
| Switching frequency | 25 kHz ≤ f ≤ 1 000 kHz (see note) |
| Load current IDS * | ≥ 0 A |
| Duty cycle | 40% … 60% |
| “ON” gate voltage VGS,on active mode | VGS,on = VGS,on.recom ᵇ |
| “OFF” gate voltage VGS,off, active or passive mode | VGS,off = VGS,on.recom ᵇ |
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Dynamic Gate Stress (DGS)
Test parameters Dynamic Gate Stress (DGS)
| Parameter | Value |
|---|---|
| Test duration | ≥ 10¹¹ cyclesᵃ |
| Test temperature Tvj * | 25°C |
| Drain-source voltage * | VDS = 0 V |
| ABS (dVGS/dt) | ≥ 0.3 V/ns (definition see figure 9.3) |
| Switching frequency | 25 kHz ≤ f ≤ 1 000 kHz |
| Duty cycle | 40% … 60% |
| “ON” gate voltage VGS,on | VGS,max ≤ VGS,on ≤ VGS,max + 0.5 V |
| “OFF” gate voltage VGS,off | VGS,min − 0.5 V ≤ VGS,off ≤ VGS,min |
시험 절차
분석 서비스 상담
분석 의뢰 접수 (E-mail)
견적 산출 및 일정
분석 시험
결과 보고서 발행
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