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TEST ANALYSIS DIVISION

회로 수정 (F.I.B)

F.I.B (Focused ion beam)은 시료 표면에 이온 빔을 주사하여 영상처리한다는 점에서 SEM과 유사합니다. 또한 이온 빔을 주사함으로 시료 미세 부위에 원하는 형태대로 식각을 할 수 있으며 Pt를 증착하여 원하는 부위에 원하는 형태로 증착을 할 수 있습니다.
이러한 특성을 이용하여 반도체 회로의 수정에 사용되며, 미세 부위에서 발생되는 불량 부위에 대해 단면 분석을 수행할 수 있습니다.

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