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시험분석 사업부

TEST ANALYSIS DIVISION

S.E.M & E.D.X

전자주사현미경(SEM)은 관찰하고자 하는 시료의 미세한부분을 확대하여 관찰하고 분석하는데 사용합니다. 1,500배 정도까지의 배율로 관찰할 수 있는 광학현미경에 비해 전자주사현미경은 80만 배의 높은 배율로 관찰이 가능하며, 전자Beam을 시료 표면에 주사할 때 시료 표면에서 방출되는 2차 전자를 검출기로 검출하고 증폭하여 높은 표면의 높낮이를 나타내는 영상으로 형성화하는 분석 장치입니다.

에너지 분석 X선 분광분석 장비(EDS)는 SEM장비에 장착하여 Electron Beam을 시료 표면에 주사시켜 발생하는 특성 X-ray(char-acteristic X-ray)을 검출 시료에 함유된 물질의 성분을 분석하는 장비로써,주로 이물질 및 오염 부위에 대한 정성분석이나, Mapping분석에 이용되고 있습니다.

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