첨단분석 / 시험 서비스

SEM

    SEM

    • 주사전자현미경은 진공 상태에서 짧은 파장의 1차 전자를 주사하여 Sample 표면의 Signal를 이용하여 영상화 관찰 하는 장비 입니다.
    • Signal 종류 -2차 전자(SE), 반사전자, 투과전자, 후방 산란전자, X선 등 관찰하고자 하는 소자의 미세한 부분을
      높은 해상도를 활용하여 관찰 하고, 관찰 소자의 구성성분을 분석 할 수 있습니다.
    • 시료의 형태, 미세구조의 관찰, X선을 이용한 성분분석 가능

    분석 적용

    • 표면분석
      PKG, Wafer , PCB
    • 성분분석
      EDS분석 (무기물 성분)

    장비 스펙

    분석장비 상세정보
    제작사/모델명 : SUPRA 60 / Carl Zeiss
    1. Resolution : 1.0nm @ 15 kV,1.7nm @ 1kV,4.0nm
    2. Magnification : 12 - 900,000x
    3. Acceleration Voltage : 0.1 - 39 kV
    4. Probe Current : 4 pA - 10 nA (20 nA optional)
    5. Chamber : 520 mm (∅) x 300 mm(h)
    6. 6-Axes Motorised Super-Eucentric Specimen stage
    7. Image Processing : Resolution : Up to 3072 x 2304 pixel
    8. EDS (Energy Dispersive X-ray Spectromenter)

    분석 사례

    • 단면구조
    • Whisker
    • 미세불량 검출
    • 공정