첨단분석 / 시험 서비스

FIB

    FIB

    • 단면 분석(Cross Section)
    • Dual Beam FIB – FIB/ FE-SEM 2가지 type을 함께 장착하여 정밀 단면 분석을 활용 할 수 있게 특화된 장비입니다.
    • Ion Beam을 주사하여 nm~um 단위의 미세 영역을 식작 할 수 있으며, 식각된 영역을 FE-SEM을 활용하여 고해상도의 Image를 얻을 수 있습니다.
    • FIB, FE-SEM이 함께 장착되어 있어 식각과 Image 관찰을 동시에 가능하게 하여 분석 시간, 실시간 검사를 효과적으로 할 수 있습니다.

    분석 적용

    • Section Image
    • nm ~ um 단위의 Section Analysis

    장비 스펙

    분석장비 상세정보
    제작사/모델명 : 1540 EsB / CARL ZEISS
    1. Resolution : 7nm @ 30kV guaranteed, 5mm achievable
    2. Magnifcation : 600x - 500kx
    3. Probe Current : 1pA - 50 nA
    4. Emitter : Ga liquid metal ion source(LMS)
    5. Detectors : In-column : Esb with fitering grid(BSE) Fitering grid voltage 0 - 1500V
    6. Operating pressure : 5 x 10 - 5 mbar or lower
    7. Specimen Stage : 6-axes fuly exxentric, all motorized
    8. Gas Injection System : Up to 5 gases for selecive Etching, enhanced etching, material deposition, Insulator deposition

    분석 사례

    • 불량 위치 단면 분석
    • Layer 두께 측정
    • Bump 단면구조