첨단분석 / 시험 서비스

FIB

FIB

  • 단면 분석(Cross Section)
  • Dual Beam FIB – FIB/ FE-SEM 2가지 type을 함께 장착하여 정밀 단면 분석을 활용 할 수 있게 특화된 장비입니다.
  • Ion Beam을 주사하여 nm~um 단위의 미세 영역을 식작 할 수 있으며, 식각된 영역을 FE-SEM을 활용하여 고해상도의 Image를 얻을 수 있습니다.
  • FIB, FE-SEM이 함께 장착되어 있어 식각과 Image 관찰을 동시에 가능하게 하여 분석 시간, 실시간 검사를 효과적으로 할 수 있습니다.

분석 적용

  • Section Image
  • nm ~ um 단위의 Section Analysis

장비 스펙

분석장비 상세정보
제작사/모델명 : 1540 EsB / CARL ZEISS
1. Resolution : 7nm @ 30kV guaranteed, 5mm achievable
2. Magnifcation : 600x - 500kx
3. Probe Current : 1pA - 50 nA
4. Emitter : Ga liquid metal ion source(LMS)
5. Detectors : In-column : Esb with fitering grid(BSE) Fitering grid voltage 0 - 1500V
6. Operating pressure : 5 x 10 - 5 mbar or lower
7. Specimen Stage : 6-axes fuly exxentric, all motorized
8. Gas Injection System : Up to 5 gases for selecive Etching, enhanced etching, material deposition, Insulator deposition

분석 사례

  • 불량 위치 단면 분석
  • Layer 두께 측정
  • Bump 단면구조