첨단분석 / 시험 서비스

EDS

    EDS

    • SEM 장비내 장착된 X선 분광분석기 입니다.
    • 전자를 주사하여 재료와 충돌할 때 발생되는 X-Ray Signal을 활용하여 정밀한 성분분석 가능하며
      X선 파장의 특성을 사용하여 무기물에 함유된 다양한 원소의 종류와 함량, 결합을 분석 합니다.

    분석 적용

    • 불량 영역
      성분분석 Migration
      불순물
    • 정량 분석
      혼합비율
      공정 성분
    • 정성 분석
      물질 구성 성분

    장비 스펙

    분석장비 상세정보
    제작사/모델명 : Thermo Electron / Super Dry II
    1. 분해능 : 139eV
    2. 정성/정량 분석 Software
    3. Mapping
    4. Line Scan
    5. Point Analysis

    분석 사례

    EDX
    DIVISION C-K O-K Cl-K Ca-K Ti-K Cu-K
    pt1 42.32 32.82 6.41 11.58 1.32 5.55