첨단분석 / 시험 서비스

S.A.T

    SAT

    • 0~260Mhz의 초음파를 주사. 초음파의 성질을 이용하여 반도체 내의 박리현상, Crack(깨짐) 현상의 위치 및 형태들을 확인 할 수 있는 비파괴 분석 장비입니다.
    • 주사된 초음파는 소자 내부로 진행되어 나아가며, 진행 경로에 특이점이 존재할 때, 그 특이점에 의해 반사 반사 또는
      투과되지않은 초음파를 감지 하여 화면에 Signal이 나타나게 됩니다.
    • 이때 확인되는 Signal 의 위치과 크기를 확인 하여 결함 유,무를 확인할 수 있습니다.

    분석 적용

    • 비파괴분석- Delamination, Crack, Void, Warpage 등

    장비 스펙

    분석장비 상세정보
    제작사/모델명 : OKOS/ VUE 400-P
    1. Motor : Quad Linear Servo
    2. Sacn Speed : 1500mm/s
    3. Accuracy & Repeatability : +/- 0.5 Micron
    4. Scan Length : 400 mm
    5. Step Length : 380mm
    6. Focus Length : 35 mm
    7. C-Scan Area : 360mm x 350mm
    8. T-Scan Area : 360mm x 220mm

    분석 사례

    • [C-Scan] 반사파
    • [T-Scan] 투과파
    • Crack
    • [Delamination]
    • [Delamination]